EUV光刻機在半導體制造中扮演著舉足輕重的作用,而EUV光刻機當前只有荷蘭的ASML公司才能生產,單臺售價已高達10億人民幣,且常常一機難求。
之前一些半導體智造商都要搶著購買EUV光刻機,然后,自今年開始,半導體形勢正在發生悄然變化,EUV光刻機反而因為耗電太多,臺積電計劃關閉省電。
據直線電機生產廠家小編所知,EUV光刻機相較于DUV光刻機等其他光刻機,需要使用能量高的激光器,而且光線會多次折射導致很大損耗,早期效率只有0.02%,現在量產的說是可以達到2%效率,但也意味著絕大多數電力都要消耗掉。EUV光刻機生產需要約3萬度電/天,一年耗電約1000萬度,就是一個電老虎,正因為此,讓半導體智造商不堪重負,計劃關閉。
說到光刻機,直線電機因具備高速度、高精度等特點,被大力引入光刻機中作為驅動裝置。
昆山同茂電子有限公司是一家擁有十余年歷史經驗的直線電機生產廠家,同茂造直線電機在光刻機中已有實際應用案例,像上海微電子(國內本土光刻機智造商)就是咱同茂的合作客戶。
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